北京维意真空技术应用有限责任公司
ALD , PE-ALD , PE-CVD , ALD/MO源瓶
非标真空室加工

维意真空为各高校研究所设计加工各类实验用大、中、小型真空室。这些真空室根据用户的需要设计,精心设计和加工,具备以下优点:

1、完全根据用户的需要设计加工,满足各种不同的要求,具备多种不同的功能;

2、真空漏率极小可<1x10-9Pa·L/s;

3、超高真空清洁工艺,不会污染各类昂贵实验器材;

4、大气压力下变形量小,可根据需要进行机械变形补偿。


真空标准件执行标准

材料:不锈钢304/不锈钢316L;

表面处理:表面均采用化学电解抛光表面处理工艺;

精加工:内部采用精密机床加工的刀口形式密封,密封面粗糙度均达

到1.6,能有效实现高真空密封要求;

安装优点:具有安装快捷,拆卸方便等优点,通过采用无氧铜垫圈作

为密封材料,外部用螺栓组合使用,安装时由于其可旋转

功能,有效连接及密封对应法兰及盲板接口,密封性良好,

达到超高真空度;

支持定做:客户可制定其他非标规格及其他材料,常规报价均为304

材料


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